эллипсометрия

 Ellipsometry

 Эллипсометрия

  Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие изменения наблюдаются как в отраженном, так и в проходящем свете, в настоящее время большая часть серийных эллипсометров (приборов основанных на использовании методов эллипсометрии) ориентирована на изучение изменения поляризации при отражении света. Термин был предложен Ротеном в 1944 году и отражает тот факт, что, как правило, после взаимодействия с системой, содержащей границы раздела, электромагнитная волна оказывается эллиптически поляризованной. Особая ценность эллипсометрии связана с двумя обстоятельствами. Во-первых, она не влияет на исследуемую систему при правильном выборе интенсивности и длины волны используемого света. Кроме того, метод весьма чувствителен к слабым изменениям на границах раздела сред, таким, как зародышеобразование и образование островкового субмонослоя, изменение химического состава и топографии поверхности, адсорбция, рост смачивающих пленок и оксидных слоев и т.д.