ионно-лучевое травление

ионно-лучевое травление
 Ion Beam Etching
 Ионно-лучевое травление (ИЛТ)
  Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) - удаление материала за счет химического взаимодействия ионов соединений с обрабатываемым материалом, в результате чего образуются летучие соединения, откачиваемые вакуумной системой.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Смотреть что такое "ионно-лучевое травление" в других словарях:

  • ионно-лучевое травление — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • химически стимулированное ионно-лучевое травление — — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN CAIBE …   Справочник технического переводчика

  • ионно-пучковое травление — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography)  этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… …   Википедия

  • травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Ionenstrahlätzen — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • décapage par faisceau ionique — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ion-beam etching — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ion-beam milling — jonpluoštis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • jonpluoštis ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam etching; ion beam milling vok. Ionenstrahlätzen, n rus. ионно лучевое травление, n; ионно пучковое травление, n pranc. décapage par faisceau ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»