TOF SIMS


TOF SIMS
 TOF SIMS
 (Time of Flight Secondary Ion Mass-Spectrometry)
 Масс-спектрометрия вторичных ионов с время-пролётной масс-сепарацией
  Метод локального анализа, основанный на регистрации спектра масс ионов, возникающих в результате ионного травления исследуемого образца.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

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