осаждение из газовой фазы


осаждение из газовой фазы
 Vapor Deposition
 Осаждение из газовой фазы
  Химическое осаждение из газовой фазы - получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (например, в планарной технологии), нитевидных монокристаллов ("усов"), барьерных слоев (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • осаждение из газовой фазы — dujinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. gas deposition; gas plating vok. Gasphasenabscheidung, f rus. осаждение из газовой фазы, n pranc. déposition en phase gazeuse, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition)  процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… …   Википедия

  • физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых в в р циями с участием газообразных соединений. По механизму р ций подразделяется на 4 вида: 1) термич. разложение или диспропорционирование газообразных соед., напр. SiH4 Si, ZrI4 Zr, Ni(CO)4 Ni, A1F Al, MRn M, где M металл, R… …   Химическая энциклопедия

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии),… …   Большой Энциклопедический словарь

  • химическое осаждение из газовой фазы — получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок (например, в планарной технологии) …   Энциклопедический словарь

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твёрдых в в с помощью хим. реакций, в к рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных… …   Естествознание. Энциклопедический словарь

  • Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги) — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиадгезияволокна, борныеволокна, карбидкремниевыегетероэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мервемеханизмы роста… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

Книги