electron beam lithography
- electron beam lithography
Electron Beam Lithography
(EBL)
Электронно-лучевая литография
Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование (проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.
Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографии
Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М..
В.В.Арсланов.
2009.
Смотреть что такое "electron beam lithography" в других словарях:
Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
electron-beam lithography — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
electron-beam lithography projector — elektronpluoštės litografijos projektorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e beam lithography projector; electron beam lithography projector vok. Elektronenbildprojektor, m; Elektronenstrahlbildprojektor, m rus. установка… … Radioelektronikos terminų žodynas
Proximity effect (electron beam lithography) — The proximity effect in electron beam lithography (EBL) is the phenomenon that the exposure dose distribution, and hence the developed pattern, is wider than the scanned pattern, due to the interactions of the primary beam electrons with the… … Wikipedia
scanning electron-beam lithography — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
write electron-beam lithography — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
direct-write electron-beam lithography — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… … Radioelektronikos terminų žodynas
raster-scan electron-beam lithography equipment — elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography equipment vok. Rasterscan Anlage, f rus. установка растровой электронно лучевой литографии, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
raster-scan electron-beam lithography — elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography vok. Rasterscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с растровым сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
vector-scan electron-beam lithography — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографии