ion implantation


ion implantation
 Ion Implantation
 Ионная имплантация
  Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до 1,0 мкм, формируя в ней особое структурно-фазовое состояние. Толщина слоя зависит от энергии и от массы ионов, а также от массы атомов мишени. Широко используется для формирования легированных областей на поверхности полупроводника при создании полупроводниковых приборов. Является стандартным технологическим приемом, используемым в планарной технологии.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "ion implantation" в других словарях:

  • Ion implantation — is a materials engineering process by which ions of a material can be implanted into another solid, thereby changing the physical properties of the solid. Ion implantation is used in semiconductor device fabrication and in metal finishing, as… …   Wikipedia

  • Ion implantation — Ion implantation. См. Ионная имплантация. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под редакцией Ю.П. Солнцева; НПО Профессионал , НПО Мир и семья ; Санкт Петербург, 2003 г.) …   Словарь металлургических терминов

  • ion implantation — Electronics. a method of implanting impurities below the surface of a solid, usually a semiconductor, by bombarding the solid with a beam of ions of the impurity. [1960 65] * * * ion implantation noun The introduction of ions into a crystalline… …   Useful english dictionary

  • ion implantation — jonų implantavimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ion implantation vok. Ionenimplantation, f rus. имплантация ионов, f pranc. implantation d’ions, f; implantation ionique, f …   Fizikos terminų žodynas

  • ion implantation — Electronics. a method of implanting impurities below the surface of a solid, usually a semiconductor, by bombarding the solid with a beam of ions of the impurity. [1960 65] * * * …   Universalium

  • ion implantation — Смотри Имплантация ионная …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • ion-implantation gettering — jonų implantacijos sukurtų defektų sutrauktis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implant gettering; ion implantation gettering vok. Gettern durch Ionenimplantation, n; Ionenimplantationsgettern, n rus. геттерирование… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ion-implantation annealing — poimplantacinis atkaitinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation annealing; postimplantation annealing vok. Ausheilung nach der Ionenimplantation, f; Ionenimplantationsausheilung, f rus. послеимплантационный… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ion-implantation profile — implantuotųjų jonų profilis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation profile vok. Implantationsprofil, n rus. профиль распределения имплантированных ионов, m pranc. profil d implantation ionique, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • ion-implantation dosage — implantuojamų jonų dozė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation dosage vok. implantierte Dotantenmenge, f; Ionenimplantationsdosis, f rus. доза имплантируемых ионов, f pranc. dose d implantation ionique, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

Книги