МЭМС

 MEMS

 (Micro Electro Mechanical Systems)

 МЭМС (Микроэлектромеханические системы)

  Интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электрические и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией интегральных схем и имеющие размеры от микрометров до миллиметров Три функции МЭМС

 1. чувствительная (сенсорная) функция заключается в способности определять наличие и концентрацию химических и биологических компонент в окружающей среде.

 2. вычислительная функция означает, что микросистема обладает процессором (вычислителем), который проводит необходимые вычисления и подготавливает информацию для передачи и отображения другими устройствами.

 3. производительная функция означает, что микросистема наделяется микроскопическими исполнительными механизмами, работой которых она управляет.

 Благодаря малым размерам, МЭМС демонстрируют уникальные свойства, не выраженные для макроскопических (или классических) тел в силу более высокого отношения площади поверхности к объему: повышенную чувствительность к статическому (поверхностному) электричеству и смачиваемость (действие сил поверхностного натяжения).