nanoimprint lithography


nanoimprint lithography
 Nanoimprint Lithography
 (NIL)
 Нанопечатная литография
  Процесс создания наноструктур, заключающийся в формировании на поверхности полимеров топографической структуры (изображения) с размером отдельных элементов менее 100 нм в результате физической деформации резиста шаблоном, несущим изображение наноструктуры. Он позволяет отпечатывать на подложке узоры из проводников шириной не более 50 атомов. Используя эту технологию, изготовлены прототипы схем, содержащие проводники шириной 15 нм – втрое меньше, чем у самых передовых коммерчески доступных полупроводниковых приборов. Привлекательная для серийного производства особенность технологии NIL заключается в том, что после создания так называемого «мастера» выпуск его копий является быстрым и недорогим, подобно выпуску компакт- дисков.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "nanoimprint lithography" в других словарях:

  • Nanoimprint lithography — is a method of fabricating nanometer scale patterns. It is a simple nanolithography process with low cost, high throughput and high resolution. It creates patterns by mechanical deformation of imprint resist and subsequent processes. The imprint… …   Wikipedia

  • Nanoimprint Lithography — Die Nanoprägelithografie (engl. Nanoimprint lithography, kurz NIL) ist ein Nanolithografie Verfahren zum kostengünstigen Herstellen von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels. Als Positiv werden häufig Monomere oder Polymere… …   Deutsch Wikipedia

  • Nanoimprint — Die Nanoprägelithografie (engl. Nanoimprint lithography, kurz NIL) ist ein Nanolithografie Verfahren zum kostengünstigen Herstellen von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels. Als Positiv werden häufig Monomere oder Polymere… …   Deutsch Wikipedia

  • Lithography — Charles Marion Russell s The Custer Fight (1903). Note the range of tones, fading toward the edges …   Wikipedia

  • Next-generation lithography — (NGL) is a term used in integrated circuit manufacturing to describe the lithography technologies slated to replace photolithography. As of 2009 the most advanced form of photolithography is immersion lithography, in which water is used as an… …   Wikipedia

  • Contact lithography — Contact lithography, also known as contact printing, is a form of photolithography whereby the image to be printed is obtained by illumination of a photomask in direct contact with a substrate coated with an imaging photoresist layer. Contents 1… …   Wikipedia

  • Scanning probe lithography — describe a set of lithographic methods in which a microscopic or nanoscopic stylus is moved mechanically across a surface to form a pattern.This type of method can be split in two different groups : : Constructive In which the patterning is done… …   Wikipedia

  • нанопечатная литография —  Nanoimprint Lithography  (NIL)  Нанопечатная литография   Процесс создания наноструктур, заключающийся в формировании на поверхности полимеров топографической структуры (изображения) с размером отдельных элементов менее 100 нм в результате… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Nanoprägelithografie — Die Nanoprägelithografie (engl. Nanoimprint lithography, kurz NIL) ist ein Nanolithografie Verfahren zum kostengünstigen Herstellen von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels. Als Positiv werden häufig Monomere oder Polymere… …   Deutsch Wikipedia

  • Nanoprägelithographie — Die Nanoprägelithografie (engl. Nanoimprint lithography, kurz NIL) ist ein Nanolithografie Verfahren zum kostengünstigen Herstellen von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels. Als Positiv werden häufig Monomere oder Polymere… …   Deutsch Wikipedia

Книги