фотолитография


фотолитография
 Photolithography
 Фотолитография
  Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Синонимы:

Смотреть что такое "фотолитография" в других словарях:

  • фотолитография — фотолитография …   Орфографический словарь-справочник

  • ФОТОЛИТОГРАФИЯ — Особый способ перенесения фотографического снимка на литографский камень. Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. Чудинов А.Н., 1910. ФОТОЛИТОГРАФИЯ воспроизведение путем фотографии изображений на камне и перепечатка этого… …   Словарь иностранных слов русского языка

  • фотолитография — и, ж. photolithographie f. Литография, полученная при помощи фотографического перенесения изображения на поверхность литографского камня. БАС 1. Два слова о фотолитографии. Этим именем называется перевод на камень фотографического (т. е. с… …   Исторический словарь галлицизмов русского языка

  • ФОТОЛИТОГРАФИЯ — (от фото... и литография) ..1) фотомеханический способ изготовления печатной формы плоской печати на камне или металлической пластине2)] Оттиск с такой формы …   Большой Энциклопедический словарь

  • ФОТОЛИТОГРАФИЯ — ФОТОЛИТОГРАФИЯ, фотолитографии, жен. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. см. фото… в 1 знач. Толковый словарь Ушакова. Д.Н. Ушаков. 1935 1940 …   Толковый словарь Ушакова

  • ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов. Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или… …   Физическая энциклопедия

  • фотолитография{ –} — литография с применением фотографии (для нанесения рисунка на литографский камень) Большой словарь иностранных слов. Издательство «ИДДК», 2007 …   Словарь иностранных слов русского языка

  • фотолитография — сущ., кол во синонимов: 2 • литография (11) • оттиск (25) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • фотолитография — и; ж. 1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической печатной формы,… …   Энциклопедический словарь

  • Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из …   Википедия

Книги

Другие книги по запросу «фотолитография» >>