photolithography


photolithography
 Photolithography
 Фотолитография
  Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Обычно включает стадии: нанесения фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник; его сушку для улучшения адгезии к подложке; экспонирование видимым или УФ излучением через фотошаблон (стекло, кварц и др.) с заданным рисунком для формирования скрытого изображения; проявление (визуализацию) скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного (позитивное изображение) или необлученного (негативное) участка слоя вымыванием водно-щелочными и органическими растворителями, либо возгонкой в плазме высокочастотного разряда; термическую обработку (дубление) полученного рельефного покрытия (маски) для увеличения его стойкости при травлении; травление участков свободной поверхности травителями кислотного типа или сухими методами; удаление маски растворителями или выжиганием кислородной плазмой. При изготовлении интегральных схем процесс повторяют многократно на различных технологических слоях материала и при этом каждый последующий рисунок должен быть совмещен с предыдущим.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "photolithography" в других словарях:

  • Photolithography — Pho to*li*thog ra*phy, n. The art or process of producing photolithographs. [1913 Webster] [1913 Webster] …   The Collaborative International Dictionary of English

  • photolithography — [fōt΄ōli thäg′rə fē] n. a process of printing from a plate, etc. prepared by methods combining photography and lithography photolithographic [fōt΄ōlith΄ə graf′ik] adj …   English World dictionary

  • Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of …   Wikipedia

  • photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus.… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • photolithography — fotolitografija statusas T sritis chemija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiu būdu. atitikmenys: angl. photolithography rus. фотолитография …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • photolithography — noun Etymology: International Scientific Vocabulary Date: 1856 1. lithography in which photographically prepared plates are used 2. a process involving the photographic transfer of a pattern to a surface for etching (as in producing an integrated …   New Collegiate Dictionary

  • photolithography — photolithographic /foh teuh lith euh graf ik/, adj. photolithographer, n. /foh toh li thog reuh fee/, n. 1. the technique or art of making photolithographs. 2. Electronics. a process whereby integrated and printed circuits are produced by… …   Universalium

  • photolithography — noun a) A lithographic procedure in which printing plates are made using a photographic process. b) An optical exposure process used in the manufacture of integrated circuits. See Also: photolithograph …   Wiktionary

  • photolithography — n. production of lithographs through photoengraving fəʊtəʊlɪ θɑgrÉ™fɪ / θɒg …   English contemporary dictionary