рентгенолитография


рентгенолитография
 X-ray Lithography
 Рентгенолитография
  Разновидность оптической бесконтактной печати, в которой длина волны экспонирующего облучения лежит в диапазоне 0.4 - 5 нм. Несмотря на то, что при рентгеновской литографии используется бесконтактная экспонирующая система, проявление дифракционных эффектов уменьшено за счет малой длины волны рентгеновского излучения.
 Основная причина разработки метода рентгеновской литографии заключалась в возможности получения высокого разрешения и, в то же время, высокой производительности оборудования. Кроме того, за счет малой величины энергии мягкого рентгеновского излучения уменьшается проявление эффектов рассеяния в резистах и подложке.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "рентгенолитография" в других словарях:

  • рентгенолитография — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • микроэлектроника — (интегральная электроника), область электроники, связанная с созданием и применением в радиоэлектронной аппаратуре узлов и блоков, выполненных на интегральных схемах и микроминиатюрных вспомогательных изделиях (разъёмах, переключателях и т. д.),… …   Энциклопедия техники

  • МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… …   Физическая энциклопедия

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Литография — Фотография литографского камня и литографии  карты …   Википедия

  • Рентгеновская литография — Рентгеновская литография  технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское …   Википедия

  • X-ray lithography —  X ray Lithography  Рентгенолитография   Разновидность оптической бесконтактной печати, в которой длина волны экспонирующего облучения лежит в диапазоне 0.4 5 нм. Несмотря на то, что при рентгеновской литографии используется бесконтактная… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Röntgenlithografie — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • X-ray lithography — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas