X-ray lithography


X-ray lithography
 X-ray Lithography
 Рентгенолитография
  Разновидность оптической бесконтактной печати, в которой длина волны экспонирующего облучения лежит в диапазоне 0.4 - 5 нм. Несмотря на то, что при рентгеновской литографии используется бесконтактная экспонирующая система, проявление дифракционных эффектов уменьшено за счет малой длины волны рентгеновского излучения.
 Основная причина разработки метода рентгеновской литографии заключалась в возможности получения высокого разрешения и, в то же время, высокой производительности оборудования. Кроме того, за счет малой величины энергии мягкого рентгеновского излучения уменьшается проявление эффектов рассеяния в резистах и подложке.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "X-ray lithography" в других словарях:

  • X-ray lithography — is a next generation lithography that has been developed for the semiconductor industryref|vlad. Batches of microprocessors have already been produced. The short wavelengths of 0.8 nm X rays overcome diffraction limits in the resolution of… …   Wikipedia

  • X-ray lithography — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • X-ray lithography mask — rentgeninės litografijos kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography mask vok. Röntgenmaske, f rus. маска для рентгеновской литографии, f; рентгеношаблон, m pranc. masque pour lithographie aux rayons X, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Lithography — Charles Marion Russell s The Custer Fight (1903). Note the range of tones, fading toward the edges …   Wikipedia

  • Next-generation lithography — (NGL) is a term used in integrated circuit manufacturing to describe the lithography technologies slated to replace photolithography. As of 2009 the most advanced form of photolithography is immersion lithography, in which water is used as an… …   Wikipedia

  • Computational lithography — (also known as computational scaling) is the set of mathematical and algorithmic approaches designed to improve the resolution attainable through photolithography. Computational lithography has come to the forefront of photolithography in 2008 as …   Wikipedia

  • X-ray printing — rentgeninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X ray lithography; X ray printing vok. Röntgenlithografie, f rus. рентгеновская литография, f; рентгенолитография, f pranc. lithographie aux rayons X, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Extreme ultraviolet lithography — (also known as EUV or EUVL ) is a next generation lithography technology using the 13.5 nm EUV wavelength. EUVL opticsEUVL is a significant departure from the deep ultraviolet lithography used today. All matter absorbs EUV radiation. Hence, EUV… …   Wikipedia

  • Quantum lithography — is a type of photolithography, which exploits non classical properties of the photons, such as quantum entanglement, in order to achieve superior performance over ordinary classical lithography. Quantum lithography is closely related to the… …   Wikipedia

  • Nanoimprint lithography — is a method of fabricating nanometer scale patterns. It is a simple nanolithography process with low cost, high throughput and high resolution. It creates patterns by mechanical deformation of imprint resist and subsequent processes. The imprint… …   Wikipedia

Книги