эллипсометрия


эллипсометрия
 Ellipsometry
 Эллипсометрия
  Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие изменения наблюдаются как в отраженном, так и в проходящем свете, в настоящее время большая часть серийных эллипсометров (приборов основанных на использовании методов эллипсометрии) ориентирована на изучение изменения поляризации при отражении света. Термин был предложен Ротеном в 1944 году и отражает тот факт, что, как правило, после взаимодействия с системой, содержащей границы раздела, электромагнитная волна оказывается эллиптически поляризованной. Особая ценность эллипсометрии связана с двумя обстоятельствами. Во-первых, она не влияет на исследуемую систему при правильном выборе интенсивности и длины волны используемого света. Кроме того, метод весьма чувствителен к слабым изменениям на границах раздела сред, таким, как зародышеобразование и образование островкового субмонослоя, изменение химического состава и топографии поверхности, адсорбция, рост смачивающих пленок и оксидных слоев и т.д.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "эллипсометрия" в других словарях:

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ, совокупность методов изучения поверхностей жидких и твердых тел по состоянию поляризации светового пучка, отраженного этой поверхностью и преломленного на ней. Традиционно эллипсометрия используется для измерения толщины пленок, в… …   Энциклопедический словарь

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении …   Физическая энциклопедия

  • Эллипсометрия — Эллипсометрия  высокочувствительный и точный поляризационно оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных …   Википедия

  • эллипсометрия — Термин эллипсометрия Термин на английском ellipsometry Синонимы Аббревиатуры Связанные термины протеомика Определение Метод исследования свойств вещества на границе (поверхности) раздела различных сред и происходящих в нем явлений (адсорбции,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ — метод исследования св в границы (пов сти) раздела разл. сред и происходящих на ней явлений (адсорбция, окисление и др.) по параметрам эллиптич. поляризации отраженного света. При отражении монохроматич. плоскополяризов. света, падающего под углом …   Химическая энциклопедия

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos atspindžio tyrimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos poliarizacijos laipsnio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Optiškai poliarizuoto šviesos pluošto, tam tikru būdu atsispindėjusio nuo paviršiaus, elipsiškumo pokyčio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis chemija apibrėžtis Tarpfazinės ribos savybių tyrimo metodas, besiremiantis elipsiškai poliarizuotos šviesos atspindžio nagrinėjimu. atitikmenys: angl. ellipsometry rus. эллипсометрия …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • эллипсометрия — elipsometrija statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Fizikos terminų žodynas

Книги