ellipsometry


ellipsometry
 Ellipsometry
 Эллипсометрия
  Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие изменения наблюдаются как в отраженном, так и в проходящем свете, в настоящее время большая часть серийных эллипсометров (приборов основанных на использовании методов эллипсометрии) ориентирована на изучение изменения поляризации при отражении света. Термин был предложен Ротеном в 1944 году и отражает тот факт, что, как правило, после взаимодействия с системой, содержащей границы раздела, электромагнитная волна оказывается эллиптически поляризованной. Особая ценность эллипсометрии связана с двумя обстоятельствами. Во-первых, она не влияет на исследуемую систему при правильном выборе интенсивности и длины волны используемого света. Кроме того, метод весьма чувствителен к слабым изменениям на границах раздела сред, таким, как зародышеобразование и образование островкового субмонослоя, изменение химического состава и топографии поверхности, адсорбция, рост смачивающих пленок и оксидных слоев и т.д.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "ellipsometry" в других словарях:

  • Ellipsometry — is a versatile and powerful optical technique for the investigation of the dielectric properties (complex refractive index or dielectric function) of thin films. It has applications in many different fields, from semiconductor physics to… …   Wikipedia

  • ellipsometry — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos atspindžio tyrimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • ellipsometry — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Elipse poliarizuotos šviesos poliarizacijos laipsnio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • ellipsometry — elipsometrija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Optiškai poliarizuoto šviesos pluošto, tam tikru būdu atsispindėjusio nuo paviršiaus, elipsiškumo pokyčio matavimas. atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f… …   Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas

  • ellipsometry — elipsometrija statusas T sritis chemija apibrėžtis Tarpfazinės ribos savybių tyrimo metodas, besiremiantis elipsiškai poliarizuotos šviesos atspindžio nagrinėjimu. atitikmenys: angl. ellipsometry rus. эллипсометрия …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • ellipsometry — elipsometrija statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ellipsometry vok. Ellipsometrie, f rus. эллипсометрия, f pranc. ellipsométrie, f …   Fizikos terminų žodynas

  • ellipsometry — noun An optical technique for the investigation of the dielectric properties of thin films especially used in semiconductor manufacture …   Wiktionary

  • Эллипсометрия — Эллипсометрия  высокочувствительный и точный поляризационно оптический метод исследования поверхностей и границ раздела различных …   Википедия

  • эллипсометрия —  Ellipsometry  Эллипсометрия   Оптический метод исследования строения и определения параметров межфазных границ, основанный на анализе изменения состояния поляризации света при его взаимодействии с поверхностью (межфазной границей). Хотя такие… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Ellipsometer — Die Ellipsometrie ist ein Messverfahren der Materialforschung und der Oberflächenphysik, mit dem Real und Imaginärteil der komplexen dielektrischen Funktion (oder Real und Imaginärteil der komplexen Brechzahl) und/oder die Schichtdicke dünner… …   Deutsch Wikipedia