молекулярно-лучевая эпитаксия


молекулярно-лучевая эпитаксия
 Molecular Beam Epitaxy
 (MBE)
 Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ)
  Процесс и технология осаждения эпитаксиальных пленок полупроводников путем испарения материалов при низком давлении. Применяется для изготовления сложных структур. Позволяет получать многослойные эпитаксиально выращенные материалы с высокой точностью контроля толщины и стехиометрии слоев.

Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. . 2009.

Смотреть что такое "молекулярно-лучевая эпитаксия" в других словарях:

  • молекулярно-лучевая эпитаксия — Процесс физического осаждения, (в основном из паровой фазы), выполняется в сверхвысоком вакууме (ниже 10 8 торр) и при температуре подложки, обычно не превышающей 800 oC; свободный (молекулярный) поток реагентов для осаждения и химическая чистота …   Справочник технического переводчика

  • Молекулярно-лучевая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия

  • Молекулярно — лучевая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия

  • Молекулярно-пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслон …   Википедия

  • Молекулярно — пучковая эпитаксия — Система молекулярно пучковой эпитаксии. Видна ростовая камера (слева) и камера загрузки образцов (справа), разделенные заслонкой шибером. Молекулярно пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно лучевая эпитаксия (МЛЭ) эпитаксиальный рост в условиях… …   Википедия

  • эпитаксия молекулярно-лучевая, метод — Термин эпитаксия молекулярно лучевая, метод Термин на английском molecular beam epitaxy Синонимы Аббревиатуры МЛЭ, МПЭ, MBE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, квантовая яма, нановискер, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… …   Физическая энциклопедия

  • эпитаксия — Термин эпитаксия Термин на английском epitaxy Синонимы Аббревиатуры Связанные термины гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • эпитаксия газофазная — Термин эпитаксия газофазная Термин на английском metalorganic vapour phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры MOVPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • эпитаксия твердофазная — Термин эпитаксия твердофазная Термин на английском solid phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры ТФЭ, SPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, эпитаксия молекулярно лучевая, метод Определение способ наращивания эпитаксиальной пленки, при …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

Книги