- молекулярная послойная эпитаксия
- Molecular Layer EpitaxyМолекулярная послойная эпитаксияМетод получения кристаллических слоев полупроводниковых материалов сложного состава с высоким кристаллографическим совершенством.
Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.. В.В.Арсланов. 2009.